產(chǎn)品資料
半導體制造裝置用小型潔凈集塵機
產(chǎn)品名稱: 半導體制造裝置用小型潔凈集塵機
產(chǎn)品型號: TDC-1006-3/H- DX系列
產(chǎn)品特點: 半導體制造裝置用小型潔凈集塵機小型 · 高負壓 · 干式 · HEPA · 半導體潔凈兼容0.6 kW · 100 m³/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
半導體制造裝置用小型潔凈集塵機 的詳細介紹
半導體制造裝置用小型潔凈集塵機
半導體制造裝置用小型潔凈集塵機
小型 · 高負壓 · 干式 · HEPA · 半導體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導體制造裝置用：單片清洗、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
- 小型集塵機：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
- 干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無油污染
- TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %
二、核心技術參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 類型 | 干式高負壓集塵機 |
| 風量 | 100 m3/h（@ -18 kPa） |
| 負壓 | -18 kPa（-180 mbar） |
| 功率 | 0.6 kW（單相 200 V） |
| 過濾效率 | 99.97 %（0.3 µm HEPA） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 粉塵容量 | 6 L（可更換） |
| 噪聲 | ≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷） |
| 接口 | Φ50 mm 快插（可轉 NW40） |
| 尺寸/重量 | 400×300×400 mm，46 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 0.6 kW 小型：A4 底面積，放實驗臺，無需地基
- -18 kPa 高負壓：比同級集塵機負壓高 50 %，適合高負壓吸塵
- 0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無油污染
- 6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚
- 58 dB 靜音：空冷無冷卻水，24 h 運行不擾人
- Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導體潔凈兼容
四、典型應用系統(tǒng)
半導體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│ │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│ │└─ 回大氣 ────┘- 高負壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
- 6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚
五、實測數(shù)據(jù)（半導體驗證）
- 粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
- TDC-1006-3/H-DX：
- 過濾效率 99.97 %（0.3 µm）
- 負壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
- 噪聲 58 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| TDC-1006-3/H-DX | 0.6 kW 標準型 |
| TDC-1006-H-HEPA | HEPA 99.97 % 套件 |
| TDC-1006-NW40 | NW40 快接法蘭套件 |
| TDC-1006-APP | 云端 APP 遠程監(jiān)控 |
七、維護與可靠性
- HEPA：每 6 個月更換一次
- 粉塵桶：每月清理一次
- 電機：年漂移 < 0.1 %，無需校準
- 整機 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結論
Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設計，讓半導體制造裝置獲得「小型、高負壓、潔凈」集塵，是小型集塵機的「半導體標準機」
小型 · 高負壓 · 干式 · HEPA · 半導體潔凈兼容
0.6 kW · 100 m3/h · -18 kPa · 0.3 µm 99.97 % · 重量 46 kg
一、產(chǎn)品定位
- 半導體制造裝置用：單片清洗、CMP、干刻、離子注入粉塵收集
- 小型集塵機：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，底面積 A4 紙
- 干式 HEPA：0.3 µm 99.97 %，Class 100 兼容，無油污染
- TDC-1006-3/H-DX：0.6 kW，100 m3/h，-18 kPa，HEPA 99.97 %
二、核心技術參數(shù)（TDC-1006-3/H-DX）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 類型 | 干式高負壓集塵機 |
| 風量 | 100 m3/h（@ -18 kPa） |
| 負壓 | -18 kPa（-180 mbar） |
| 功率 | 0.6 kW（單相 200 V） |
| 過濾效率 | 99.97 %（0.3 µm HEPA） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 粉塵容量 | 6 L（可更換） |
| 噪聲 | ≤ 58 dB(A) @ 1 m（空冷） |
| 接口 | Φ50 mm 快插（可轉 NW40） |
| 尺寸/重量 | 400×300×400 mm，46 kg |
| 壽命 | 20,000 h（連續(xù)運行） |
三、功能亮點
- 0.6 kW 小型：A4 底面積，放實驗臺，無需地基
- -18 kPa 高負壓：比同級集塵機負壓高 50 %，適合高負壓吸塵
- 0.3 µm 99.97 % HEPA：Class 100 兼容，無油污染
- 6 L 大容量：6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚
- 58 dB 靜音：空冷無冷卻水，24 h 運行不擾人
- Class 100 潔凈：0.3 µm ≤ 100 pc/ft3，半導體潔凈兼容
四、典型應用系統(tǒng)
半導體單片清洗粉塵收集┌─ 清洗腔體 ─┐│ │粉塵← TDC-1006 ← 真空饋通 Φ50│ │└─ 回大氣 ────┘- 高負壓 -18 kPa，0.3 µm 粉塵 99.97 % 捕集
- 6 L 粉塵桶，30 s 快換，無粉塵飛揚
五、實測數(shù)據(jù)（半導體驗證）
- 粉塵：0.3 µm SiO?，濃度 10 mg/m3
- TDC-1006-3/H-DX：
- 過濾效率 99.97 %（0.3 µm）
- 負壓 -18 kPa（穩(wěn)定）
- 噪聲 58 dB（比冰箱低）
六、選型與配件
| 件號 | 說明 |
|---|---|
| TDC-1006-3/H-DX | 0.6 kW 標準型 |
| TDC-1006-H-HEPA | HEPA 99.97 % 套件 |
| TDC-1006-NW40 | NW40 快接法蘭套件 |
| TDC-1006-APP | 云端 APP 遠程監(jiān)控 |
七、維護與可靠性
- HEPA：每 6 個月更換一次
- 粉塵桶：每月清理一次
- 電機：年漂移 < 0.1 %，無需校準
- 整機 2 年質(zhì)保，10 年配件保障
八、結論
Tohin TDC-1006-3/H-DX 以「0.6 kW 小型 + -18 kPa 高負壓 + 0.3 µm 99.97 % HEPA + Class 100 潔凈」四合一設計，讓半導體制造裝置獲得「小型、高負壓、潔凈」集塵，是小型集塵機的「半導體標準機」
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