超純水精制裝置用溶解臭氧臭氧濃度計

超純水精制裝置用溶解臭氧臭氧濃度計

• 晶圓濕法清洗（O?-DIW）
• 光阻剝離、Cu 配線蝕刻
• 超純水系統臭氧濃度閉環控制
• 晶圓濕法清洗（O?-DIW）
• 光阻剝離、Cu 配線蝕刻
• 超純水系統臭氧濃度閉環控制

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• 晶圓濕法清洗（O?-DIW）
• 光阻剝離、Cu 配線蝕刻
• 超純水系統臭氧濃度閉環控制

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• 晶圓濕法清洗（O?-DIW）
• 光阻剝離、Cu 配線蝕刻
• 超純水系統臭氧濃度閉環控制

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原理：深紫外 LED 254 nm 吸收法（雙光束，參比補償）范圍：0 – 2,000 ppb（µg/L）溶解臭氧分辨率：0.1 ppb精度：±0.5 ppb 或 ±1 % RD 取大者檢出限：0.3 ppb（3σ，60 s）響應時間：T90 ≤ 10 s（0.2 L min?1 時）溫度補償：0 – 60 ℃ 自動（內置 PT1000）壓力補償：0 – 0.5 MPa 自動（內置絕壓傳感器）接液與安裝接液材質：PFA + 高純石英（TOC < 1 ppb 級）流路：超小型石英池 40 µL，死體積 < 0.1 mL接口：1/4″ PFA 快擰（IN/OUT 同徑）采樣流量：0.1 – 0.5 L min?1（推薦 0.2 L min?1）防護：IP65，耐 18 MΩ 超純水靜電沖擊輸出與通信模擬：隔離 4–20 mA（負載 ≤ 500 Ω，線性/對數可選）數字：RS-485 Modbus RTU， baud 9.6 k–115.2 k報警：High / High-High / LOW 繼電器 1 A×3數據記錄：內置 32 GB SD 卡，CSV 連續 1 s，約 10 年校準記錄：自動時間戳，可導出 PDF（符合 GMP）自動校零（無需標準液）內置 Pt-MnO? 臭氧分解催化劑，60 s 生成零水零點漂移 < 0.2 ppb / 月跨度可用 100 ppb 標準溶解臭氧（可選配件）1 點修正典型工藝點UPW 臭氧注入后：設定 80 ppb，PID 控制臭氧發生器DIW 加熱回收段：監測殘留 < 5 ppb，防止 Cu 氧化精混床出口：確認臭氧已分解至 < 0.5 ppb，保護離子交換樹脂系統聯鎖示例O? 發生器 → Model-1700（4–20 mA）→ PLC PID →  injector 閥同時 SD 卡記錄用于批次追溯（Lot ID 自動寫入）外形與電源尺寸：160 W × 140 H × 80 D mm，1.1 kg電源：DC 24 V ±10 %，5 W安裝：DIN 導軌或面板開孔 152×76 mm選配全 PTFE 氣路（用于 O? 氣體側，同一型號）19 吋機架安裝套件防爆型 Ex d IIC T4（Zone 1）遠程零/標電磁閥箱（自動 3 點校準）價格 & 交期（2025-Q3）Model-1700 標準型：JPY 1,280,000（≈ 6.0 萬 RMB）100 ppb 標準溶解臭氧膠囊 10 只：JPY 25,000現貨 1-2 周；Ex d 防爆 4 周一句話總結Dylec Model-1700 = UV-LED 雙光束，0.1 ppb 分辨率、T90 10 s，40 µL 石英池，PFA+石英接液，60 s 零水自校，4–20 mA/RS-485／32 GB 記錄，是 UPW 回路「ppt 級」溶解臭氧在線監測與 PID 反饋控制的超純水專用臭氧濃度計。